中微公司获得实用新型专利授权：“一种阻抗调节装置及等离子体处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种阻抗调节装置及等离子体处理设备”，专利申请号为CN202421757175.2，授权日为2025年7月8日。

专利摘要：本实用新型提供一种阻抗调节装置及等离子体处理设备，阻抗调节装置设置在一真空的反应腔内，反应腔内包含用于放置晶圆的基座，包括：边缘电极环，围绕基座并与基座电绝缘，边缘电极环的底部设有第一导电部；边缘电极环馈电组件，电性连接在边缘电极环与偏置射频电源之间，边缘电极环馈电组件的顶部包括与第一导电部位置对应的第二导电部；若干个导电的弹性装置，所述弹性装置弹性电连接设置在所述第一导电部与所述第二导电部之间，用于实现边缘电极环与边缘电极环馈电组件之间稳定的电接触。

今年以来中微公司新获得专利授权83个，较去年同期增加了5.06%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了28家企业，参与招投标项目66次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1505条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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