晶盛机电获得发明专利授权：“一种晶圆双面减薄装置和方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆双面减薄装置和方法”，专利申请号为CN202510496819.X，授权日为2025年7月4日。

专利摘要：本申请提供了一种晶圆双面减薄装置和方法，属于晶圆加工技术领域，解决了现有技术减薄成品取料时易被残留杂质损伤的问题。本申请的晶圆双面减薄装置包括承载件、第一板体、第二板体、减薄组件、送气组件以及取料组件，承载件用于径向支撑加工工件的外周侧，第一板体设置于承载件的第一侧，第一板体上设有第一挖孔，第二板体设置于承载件的第二侧，第二板体上设有第二挖孔，送气组件包括输气管和输气件，输气管为多个且至少设置于第一板体上，输气管朝向第二板体，取料组件包括真空吸附件和流向调整件，真空吸附件吸附加工工件，流向调整件可以调整输气件输出气体的流向。本申请取料同时可清洁晶圆和第一板体，避免晶圆部分弯曲与硅粉磨损。

今年以来晶盛机电新获得专利授权68个，较去年同期减少了16.05%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了11.19亿元，同比减2.29%。

通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了34家企业，参与招投标项目194次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1031条，著作权信息135条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

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