先锋精科获得发明专利授权：“一种等离子刻蚀机用全封闭式云母加热基座”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示先锋精科（688605）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子刻蚀机用全封闭式云母加热基座”，专利申请号为CN202010154358.5，授权日为2025年7月1日。

专利摘要：一种等离子刻蚀机用全封闭式云母加热基座，包括加热基座主体、云母加热片、陶瓷隔热板以及耐高温隔热转接密封接头，所述的加热基座主体内设置有云母加热片以及陶瓷隔热板，所述的耐高温隔热转接密封接头设置在加热基座主体上。本发明全封闭式云母加热基座通过控制两片云母片内部的刻蚀成型的多区控温的加热丝产生热量的分布，并通过热量的传导使加热基座工作面均匀发热，从面实现对表面放置晶圆和聚酰亚胺静电卡盘加热的功能。

今年以来先锋精科新获得专利授权14个。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了6408.32万元，同比增76.49%。

通过天眼查大数据分析，江苏先锋精密科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目29次；财产线索方面有商标信息23条，专利信息153条；此外企业还拥有行政许可79个。

数据来源：天眼查APP

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