国林科技：产品涵盖5纳米和3纳米制程需求

证券之星消息，国林科技(300786)06月27日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者：公司产品目前可满足7纳米制程以下的半导体设备需求，是否包含5纳米和3纳米制程？
国林科技董秘：尊敬的投资者，您好。根据技术工艺应用特点，在栅极线宽越小的产品结构中，会有很多的高深槽比以及原子级特性工艺处理的需要，因此都会涉及并涵盖，臭氧会参与其一部分。感谢您的关注 。

投资者：公司有哪些电子特气的生产技术？
国林科技董秘：尊敬的投资者，您好。臭氧气体习惯也算是特气的一种，公司通过十几年臭氧系统设备制造及运行服务经验积累，掌握了臭氧发生技术的核心技术。感谢您的关注。

投资者：公司涉及到半导体领域的电子级化学品和电子级特种气体的生产设备有哪些？
国林科技董秘：尊敬的投资者，您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程。子公司国林半导体现有产品包括：半导体级超纯臭氧气体发生器、臭氧气体输送系统、半导体级高浓度臭氧水系统、DI-NH3氨水输送系统、臭氧水杀菌系统、臭氧气体尾气分解器、臭氧水分解器、臭氧气体浓度检测仪、臭氧水溶浓度检测仪等产品。感谢您的关注。

投资者：公司有哪些半导体领域的电子特气设备？
国林科技董秘：尊敬的投资者，您好。臭氧气体习惯也算是特气的一种，国林半导体公司所生产的半导体级超纯臭氧气体发生器能够产生高浓度、大流量、高压力的超洁净臭氧气体。感谢您的关注。

投资者：公司有生产半导体设备零部件吗？
国林科技董秘：尊敬的投资者，您好。国林半导体相关臭氧设备主要用做半导体湿法清洗、薄膜沉积等行业辅助设备使用，目前占主营业务收入比重较小。感谢您的关注。

投资者：公司水冷空调在数据机房的应用？
国林科技董秘：尊敬的投资者，您好。公司水冷空调产品目前主要对内配套用于臭氧系统设备的冷却。感谢您的关注。

投资者：公司半导体设备在行业内究竟属于怎样的水准？
国林科技董秘：尊敬的投资者，您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程，国林半导体相关臭氧设备目前主要用做半导体湿法清洗、薄膜沉积等行业辅助设备使用，目前占主营业务收入比重较小。感谢您的关注。

投资者：公司是半导体设备及材料国产替代的贡献者吗？
国林科技董秘：尊敬的投资者，您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程，国林半导体相关臭氧设备目前主要用做半导体湿法清洗、薄膜沉积等行业辅助设备使用，目前占主营业务收入比重较小。感谢您的关注。

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