精测电子获得实用新型专利授权：“一种晶圆缺陷检测平台”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示精测电子（300567）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆缺陷检测平台”，专利申请号为CN202421333579.9，授权日为2025年6月27日。

专利摘要：本实用新型公开了一种晶圆缺陷检测平台，属于晶圆检测设备技术领域，包括安装载台，安装载台上设有晶圆吸附载台，二者之间设有第一驱动组件；安装载台上还设有龙门架，龙门架上设有检测组件，龙门架与检测组件之间设有第二驱动组件；安装载台的四个边角处均设有支撑柱，且各支撑柱与安装载台之间均设有气浮组件，各气浮组件的气压分别可调。本申请中的晶圆缺陷检测平台通过第一驱动组件和第二驱动组件完成了晶圆吸附载台相对于检测组件在三维空间内的移动和转动，便于晶圆全方位检测；并在支撑柱与安装载台之间设置气浮组件，以避免外部环境振动传递至安装载台，确保晶圆检测的准确性和稳定性，提高该晶圆缺陷检测平台的整体检测精度。

今年以来精测电子新获得专利授权32个，较去年同期减少了60.49%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.24亿元，同比增13.03%。

通过天眼查大数据分析，武汉精测电子集团股份有限公司共对外投资了24家企业，参与招投标项目536次；财产线索方面有商标信息15条，专利信息2031条，著作权信息80条；此外企业还拥有行政许可5个。

数据来源：天眼查APP

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