芯碁微装获得发明专利授权：“吸附装置和具有其的光刻设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“吸附装置和具有其的光刻设备”，专利申请号为CN202210317502.1，授权日为2025年6月24日。

专利摘要：本发明公开了一种吸附装置和具有其的光刻设备，包括：吸盘，吸盘设有相互连通的吸附腔、抽气孔和多个吸附孔，吸盘具有用于放置电路板的放置面，多个吸附孔贯通放置面，吸附腔通过至少一个吸附孔与外界空气连通，抽气孔贯通吸附腔的腔壁；至少一个分隔片，至少一个分隔片可转动地安装于吸盘且至少部分位于吸附腔内，分隔片在连通位置和分隔位置之间可转动，分隔片处于分隔位置时将吸附腔分隔为不连通的两个腔体，每个腔体与多个吸附孔中的部分连通，分隔片处于连通位置时允许两个腔体连通。根据本发明实施例的吸附装置能够根据电路板的尺寸来调节吸附区域的尺寸，具有吸附稳定性高、噪音小且能耗低等优点。

今年以来芯碁微装新获得专利授权21个，较去年同期增加了10.53%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了9769.71万元，同比增3.34%。

通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目140次；财产线索方面有商标信息33条，专利信息365条，著作权信息53条；此外企业还拥有行政许可23个。

数据来源：天眼查APP

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