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捷佳伟创获得发明专利授权:“热丝系统以及卧式HWCVD设备”

来源:证券之星企业动态 2025-06-18 02:57:34
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示捷佳伟创(300724)新获得一项发明专利授权,专利名为“热丝系统以及卧式HWCVD设备”,专利申请号为CN202310102678.X,授权日为2025年6月17日。

专利摘要:本发明公开了热丝系统以及卧式HWCVD设备。该热丝系统被使用在卧式HWCVD设备中,其中,所述卧式HWCVD设备具有镀膜腔,所述镀膜腔内容置有用于载置衬底的载板,所述载板水平地被支撑并沿第一方向运行,所述热丝系统配置在所述镀膜腔的竖直方向的上部并沿所述第一方向以及与所述第一方向正交的第二方向延伸,所述热丝系统包括多个热丝馈入单元,多个所述热丝馈入单元分别沿所述第一方向以及所述第二方向配置。本发明的热丝系统能够保持镀膜工艺的稳定性并且提高系统使用的稳定性。

今年以来捷佳伟创新获得专利授权47个,较去年同期增加了56.67%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了6.49亿元,同比增38.94%。

数据来源:天眼查APP

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