证券之星消息,根据天眼查APP数据显示天合光能(688599)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“喷淋结构及镀膜设备”,专利申请号为CN202422094081.8,授权日为2025年6月3日。
专利摘要:本申请公开了一种喷淋结构及镀膜设备,属于原子层沉积设备技术领域。本申请的一个实施例提出一种喷淋结构,包括:层叠的内喷淋板和外喷淋板,内喷淋板设有多个第一喷口,外喷淋板设有多个第二喷口,第一喷口的直径小于第二喷口的直径,第一喷口朝向外喷淋板布置;在层叠方向上,第二喷口暴露第一喷口。根据本申请的喷淋结构,使得通过第一喷口的前驱物能更顺利地通过第二喷口,便于前驱物进入镀膜腔,减少前驱物发生反应产生的薄膜附着在第二喷口周围,且采用双层喷淋板的结构,可以快速安装和更换,减少维护时间,提高设备产能。
今年以来天合光能新获得专利授权261个,较去年同期增加了20.83%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了18.46亿元,同比增19.62%。
数据来源:天眼查APP
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