拉普拉斯获得实用新型专利授权：“一种进气管组和沉积装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拉普拉斯（688726）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种进气管组和沉积装置”，专利申请号为CN202422166037.3，授权日为2025年6月17日。

专利摘要：本实用新型涉及一种进气管组和沉积装置，涉及低压化学气相沉积领域，包括：应用于炉管，炉管包括：依次设置的第一区域、第二区域和第三区域；进气管组包括：设置于第一区域的第一进气管，进气管的侧面有泄压孔，端部设置有出气口；设置于第二区域的第二进气管，进气管的侧面有泄压孔，端部设置有出气口；设置于第三区域的第三进气管，进气管的侧面有泄压孔，端部设置有出气口；三个进气管沿环绕炉管中心的排气管的周向分布；本实用新型提供的进气管组，通过在进气管上设置特定的泄压孔，解决了沉积用气量较高的缺陷，同时显著提升了所得膜层的膜厚片内均匀性和膜厚片间均匀性，提升了低压化学气相沉积装置的使用性能。

今年以来拉普拉斯新获得专利授权90个。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.96亿元，同比增27.5%。

数据来源：天眼查APP

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