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拉普拉斯获得发明专利授权:“一种新型扩散方法”

来源:证券之星企业动态 2025-06-14 03:33:12
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示拉普拉斯(688726)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种新型扩散方法”,专利申请号为CN202111359969.4,授权日为2025年6月13日。

专利摘要:本发明公开了一种新型扩散方法,在炉管进气端增加匀流装置,使得气体进入炉管后被均匀打散,避免气流直接对硅片进行冲击,改善了炉尾上中下的片间差异。本发明通源时在近出气口处补充氮气,稀释掺杂源,将气体混合并推动,改善了局部掺杂源的浓度差异,提高了硅片方阻均匀性,可以在不改变现有的排气结构下改善排气管进口位置片间的均匀性,且对其他舟内的方阻无影响,可实现单独调控区域方阻。

今年以来拉普拉斯新获得专利授权88个。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了2.96亿元,同比增27.5%。

数据来源:天眼查APP

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