贵研铂业获得发明专利授权：“一种低氧高密度Ru溅射靶材、制备方法及其用途”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示贵研铂业（600459）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种低氧高密度Ru溅射靶材、制备方法及其用途”，专利申请号为CN202310839299.9，授权日为2025年6月13日。

专利摘要：本发明公开了一种低氧高密度Ru溅射靶材、制备方法及其用途，该溅射靶材氧含量小于50ppm，表面粗晶层厚度小于50um，平均晶粒尺寸2?8微米，晶界处孔洞呈近球形，直径小于1um，靶材相对密度大于理论密度的99％。制备方法以具有形貌和粒径分布可控的高纯钌粉为原料，通过真空热压烧结法制备钌靶材；通过对真空度控制、加压烧结获得靶材坯料，最终获得具有低氧高密度且具有良好机加工性能的溅射靶材。本发明通对粉末形貌和粒径分布以及真空热压烧结工艺的控制，改善了钌靶氧含量高、表面粗晶层厚、致密度低、机加工性能差等缺点，获得低氧含量和高致密度且加工性能好的溅射靶材，避免常规热压烧结工艺制备的靶材加工困难的缺点。

今年以来贵研铂业新获得专利授权6个，与去年同期持平。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.39亿元，同比减0.19%。

数据来源：天眼查APP

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