中科飞测获得发明专利授权：“一种滤波结构、光学检测系统及光学检测方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种滤波结构、光学检测系统及光学检测方法”，专利申请号为CN202510124380.8，授权日为2025年6月13日。

专利摘要：本发明实施例提供了一种滤波结构、光学检测系统及光学检测方法，用于提升获取待检测对象中缺陷信号的准确性。本发明实施例中的滤波结构，包括：第一滤波结构，用于对待检测对象中周期排布的结构单元的主衍射信号进行滤波；和第二滤波结构，用于对待检测对象中周期排布的结构单元的次级衍射光斑进行滤波；第一滤波结构包括至少一个外周为封闭状的滤波结构，当待检测对象中设置有结构单元时，所述封闭状的滤波结构内还设置有连接所述滤波结构任意两端的挡光结构；所述第二滤波结构包括平行设置的多个挡光件，其中，所述挡光件在所述次级衍射光斑所在平面的投影不小于所述次级衍射光斑的直径。

今年以来中科飞测新获得专利授权32个，较去年同期减少了47.54%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了4.98亿元，同比增118.17%。

数据来源：天眼查APP

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