中科飞测获得发明专利授权：“承载装置及检测设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“承载装置及检测设备”，专利申请号为CN202510226533.X，授权日为2025年6月13日。

专利摘要：本申请涉及晶圆检测技术领域，具体涉及承载装置及检测设备。承载装置包括承载部和限位部，其中，承载部具有用于承载待测物的承载面。限位部与承载部连接并处于承载部的外围，待测物放置在承载部上后，限位部能够对待测物进行止挡，阻止待测物相对承载部滑动，待测物处于承载部的承载面时，悬空空间能够使待测物边缘处于悬空状态，这样待测物与承载装置边缘接触的地方受到一个向上的支撑力以及待测物悬空部分本身受到一个向下的重力，然后利用支撑力和重力方向相反，互相影响，从而减小承载部对待测物边缘膜厚数据的影响，提高待测物边缘处的膜厚测量数据准确性，改善目前的待测物边缘处的膜厚测量数据准确性低的问题。

今年以来中科飞测新获得专利授权32个，较去年同期减少了47.54%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了4.98亿元，同比增118.17%。

数据来源：天眼查APP

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