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华海清科获得发明专利授权:“一种晶圆清洗装置”

来源:证券之星企业动态 2025-06-14 03:31:39
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种晶圆清洗装置”,专利申请号为CN202310787611.4,授权日为2025年6月13日。

专利摘要:本发明公开了一种晶圆清洗装置,其包括箱体,其内部设置有溢流槽;支撑组件,其设置于所述溢流槽中,以支撑并带动晶圆旋转;喷液组件,其设置于所述溢流槽中,以朝向溢流槽底部喷射液体;所述溢流槽包括槽主体、整流部和收缩部,所述槽主体为矩形槽体,所述整流部和收缩部依次设置于所述槽主体的上方;所述整流部与收缩部之间设置有振板,其倾斜设置并朝向晶圆发出高频声波;所述整流部为矩形槽体,其内部宽度小于槽主体的内部宽度;经由整流部上移的流体,能够将高频声波剥离的污染物从溢流槽的顶部排出。

今年以来华海清科新获得专利授权43个,较去年同期增加了138.89%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了3.82亿元,同比增25.76%。

数据来源:天眼查APP

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