华海清科获得发明专利授权：“一种晶圆水平缓存装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆水平缓存装置”，专利申请号为CN202111533301.7，授权日为2025年6月13日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆水平缓存装置，所述晶圆水平缓存装置包括支撑架和检测组件，所述支撑架用于水平支撑晶圆，所述检测组件设置于固定架，所述固定架位于水平支撑晶圆的两侧；所述检测组件包括信号收发部和匹配设置的反射部，其安装于所述固定架，所述信号收发部输出的光学信号朝向所述反射部发射，所述反射部将光学信号反射至所述信号收发部；所述检测组件根据所述信号收发部的接收的光学信号判定所述支撑架是否放置晶圆；所述检测组件还包括遮光板，其罩设于所述反射部的侧部；所述遮光板的表面配置有非镜面结构，以防止所述信号收发部发射的光线反射而干扰检测。

今年以来华海清科新获得专利授权43个，较去年同期增加了138.89%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。

数据来源：天眼查APP

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