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拉普拉斯获得实用新型专利授权:“沉积设备”

来源:证券之星企业动态 2025-06-14 03:26:54
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示拉普拉斯(688726)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“沉积设备”,专利申请号为CN202422064086.6,授权日为2025年5月30日。

专利摘要:本申请涉及光伏和半导体技术领域,尤其涉及一种沉积设备,解决了沉积设备无法对腔体的内壁进行镀膜的问题。该沉积设备被配置为对腔体的内壁进行镀膜,内壁围合形成腔室,腔体具有连通腔室与外界的至少一个开口。该沉积设备包括至少一个密封件、至少一个靶台和至少一个激光发射组件。密封件用于密封开口,以使腔室形成密闭腔室。靶台用于承载靶材,靶台能够放入腔室。激光发射组件向靶材发出激光,使靶材生成等离子羽辉,等离子羽辉能够沉积于腔体的内壁,以对腔体的内壁进行镀膜。

今年以来拉普拉斯新获得专利授权88个。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了2.96亿元,同比增27.5%。

数据来源:天眼查APP

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