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帝尔激光获得实用新型专利授权:“一种激光巨量转移装置”

来源:证券之星企业动态 2025-06-13 02:26:34
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示帝尔激光(300776)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种激光巨量转移装置”,专利申请号为CN202421989385.4,授权日为2025年6月13日。

专利摘要:本实用新型公开了一种激光巨量转移装置,属于半导体技术领域。所述激光巨量转移装置包括激光加工模块、晶圆固定件、基板支撑台和调节组件;激光加工模块、晶圆固定件和基板支撑台依次间隔布置,激光加工模块用于对晶圆上芯片照射,晶圆固定件用于固定晶圆于基板上方,基板支撑台用于支撑基板;调节组件包括调节模块、晶圆高度测量传感器、基板高度测量传感器、横移模块和控制模块,所述横移模块用于驱动所述晶圆固定件和所述调节模块沿第二方向或者第三方向步进移动,调节模块的输出端与基板支撑台连接。本实用新型实施例提供的一种激光巨量转移装置,可以使得转移加工过程中晶圆与基板上相对应的各区域均在空间位置保持一致。

今年以来帝尔激光新获得专利授权63个,较去年同期增加了142.31%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了2.83亿元,同比增12.73%。

数据来源:天眼查APP

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