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长信科技获得实用新型专利授权:“一种玻璃基板蚀刻机腔室结构”

来源:证券之星企业动态 2025-06-13 02:26:21
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示长信科技(300088)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种玻璃基板蚀刻机腔室结构”,专利申请号为CN202420935804.X,授权日为2025年6月13日。

专利摘要:本实用新型所提供的玻璃基板蚀刻机腔室结构包括PC腔室本体、视窗结构以及传感器组件,视窗结构均匀设置在PC腔室本体上,传感器组件设置在视窗结构内,视窗结构能够避免外部光线对传感器组件及蚀刻机产生影响,传感器组件能够及时检测PC腔室本体内玻璃基板的状态,能够及时识别发生破片的玻璃基板,从而避免发生连续破片,本实用新型所提供的玻璃基板蚀刻机腔室结构能够监控PC腔室内玻璃基板搬运状态的,能够及时发现PC腔室内玻璃基板是否破片的情况,能够避免连续破片,降低生产成本。

今年以来长信科技新获得专利授权10个,较去年同期减少了74.36%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了4.29亿元,同比增28.27%。

数据来源:天眼查APP

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