拓荆科技获得发明专利授权：“晶圆加工设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆加工设备”，专利申请号为CN202111632328.1，授权日为2025年6月10日。

专利摘要：本发明提供了一种晶圆加工设备。该晶圆加工设备包括前端控制装置、装载装置、连接件和传输装置；前端控制装置通过连接件与装载装置连接，传输装置设置于装载装置远离连接件的一侧，传输装置的周向上排布有至少一个反应腔室，反应腔室用于加工晶圆，传输装置用于输送晶圆，装载装置用于暂存晶圆，连接件用于供晶圆通过。本发明的晶圆加工设备通过设置传输装置便于在装载装置、传输装置、反应腔室和前端控制装置之间输送晶圆。在传输装置的周向上排布有至少一个反应腔室，便于对晶圆进行加工处理。通过设置连接件调整传输装置与前端控制装置之间的空间，进而便于对前端控制装置、传输装置以及装载装置的维护，且结构简单、便于实现和使用。

今年以来拓荆科技新获得专利授权19个，较去年同期增加了111.11%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.56亿元，同比增31.26%。

数据来源：天眼查APP

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