证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体器件及其制造方法”,专利申请号为CN202510265449.9,授权日为2025年6月10日。
专利摘要:本发明提供了一种半导体器件及其制造方法,半导体器件包括:衬底,衬底中设置器件沟槽;场氧层,设置在器件沟槽的槽壁上,场氧层具有阶梯结构,且沿着远离衬底的第一表面的方向,阶梯结构的宽度减小,其中第一表面为衬底形成器件沟槽的表面;漂移区,设置在衬底中,漂移区连接场氧层,且漂移区包裹在场氧层外部,其中沿着远离衬底的第一表面的方向,漂移区的宽度减小,且漂移区的离子掺杂浓度降低;以及多晶硅层,填充在器件沟槽中,且多晶硅层连接于场氧层。本发明提供了一种半导体器件及其制造方法,能够有效提升器件耐压性能,缩小器件尺寸,降低器件导通电阻,双向优化器件耐压能力和导通电阻的关系。
今年以来晶合集成新获得专利授权164个,较去年同期增加了2.5%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了12.84亿元,同比增21.41%。
数据来源:天眼查APP
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