证券之星消息,根据天眼查APP数据显示长飞光纤(601869)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种光掩模基板外形尺寸测量系统及方法”,专利申请号为CN202211255841.8,授权日为2025年6月10日。
专利摘要:本发明公开了一种光掩模基板外形尺寸测量系统及方法,属于半导体和显示面板光掩模基板制造领域,该系统包括:样品转移单元、样品运动单元及光学测量系统;样品转移单元,用于将被测光掩模基板在待检区域和测试区域间进行转移;样品运动单元,用于配合光学测量系统调整被测光掩模基板的俯仰角度、旋转角度和高度;光学测量系统,用于测量被测光掩模基板的外形尺寸。通过本发明提供一种精度高、重复性高、无损伤、性价比高的光掩模基板外形尺寸测量系统及方法。
今年以来长飞光纤新获得专利授权52个,较去年同期减少了7.14%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了7.87亿元,同比增1.57%。
数据来源:天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。