证券之星消息,根据天眼查APP数据显示中微公司(688012)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种治具”,专利申请号为CN202421743272.6,授权日为2025年6月10日。
专利摘要:本实用新型公开了一种治具,用于拆装半导体处理装置中的绝缘窗口,其包括:主体环件,其内径大于等于绝缘窗口的外径,可以套设在绝缘窗口的周向;定位件,其间隔设置在主体环件下表面,且与内衬顶部的定位孔对应;若干个固定卡塞,其具有沿主体环件径向延伸的固定厚度,且间隔固定在主体环件的内侧;至少一个调节卡塞,其安装在主体环件的内侧,可沿主体环件的径向移动;吊装件,其与主体环件固定连接;所述固定卡塞和调节卡塞可以抵住所述绝缘窗口周向的侧壁,调节所述调节卡塞在主体环件上的径向位置,实现所述绝缘窗口与内衬的同心安装,同时提高了拆装绝缘窗口的便捷性。
今年以来中微公司新获得专利授权74个,较去年同期增加了2.78%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了14.18亿元,同比增73.59%。
数据来源:天眼查APP
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