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韦尔股份获得发明专利授权:“一种超低电容ESD保护器件及其制备方法”

来源:证券之星企业动态 2025-06-07 03:14:45
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示韦尔股份(603501)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种超低电容ESD保护器件及其制备方法”,专利申请号为CN202111130486.7,授权日为2025年6月6日。

专利摘要:本申请实施例提供一种超低电容ESD保护器件及其制备方法,所述方法包括,在衬底上形式第一掺杂类型的外延层;在外延层远离所述衬底的表面在预设温度下形成阻挡氧化层;所述预设温度为1000℃~1500℃;在所述外延层背离衬底的一侧形成第二掺杂类型的阱区;在所述阱区形成第一掺杂类型和第二掺杂类型的注入区;在所述阻挡氧化层远离外延层的表面通过低压化学气相沉积隔离氧化层;在隔离氧化层对应注入区的位置形成接触孔,在所述接触孔中沉积金属以引出保护器件的阳极或阴极,本申请实施例提供的技术方案实现保护器件的超低电容的目标。

今年以来韦尔股份新获得专利授权9个,较去年同期减少了43.75%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了26.22亿元,同比增17.36%。

数据来源:天眼查APP

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