微导纳米获得实用新型专利授权：“一种热处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种热处理设备”，专利申请号为CN202421873015.4，授权日为2025年5月23日。

专利摘要：本实用新型公开的热处理设备，包括炉管、进气组件和测温组件，炉管内设置有待进行热处理工艺的基片，进气组件包括环形进气管，环形进气管设置于炉管内，沿环形进气管的周向开设有多个出气口，以使得通过出气口流出的气体流入到炉管内，以对基片进行热处理工艺，测温组件设置于炉管内，测温组件包括热电偶，热电偶的工作端朝向气体的流入方向，热电偶上设置有遮热罩。本实用新型公开的热处理设备，多个出气口的设置能够对气体进行分流，以减少气体进气过程中炉管温度的波动，同时能够减少对热电偶的冲击，减少热电偶的温度波动；遮热罩的设置能够减少热电偶和炉管内壁的辐射换热，进一步减少热电偶的温度波动，保证热处理工艺效果。

今年以来微导纳米新获得专利授权33个，较去年同期增加了13.79%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.67亿元，同比增50.78%。

数据来源：天眼查APP

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