中微公司获得实用新型专利授权：“气体喷淋头及等离子体处理装置”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“气体喷淋头及等离子体处理装置”，专利申请号为CN202421937006.7，授权日为2025年6月6日。

专利摘要：本实用新型公开一种气体喷淋头及等离子体处理装置。所述气体喷淋头包括：喷淋头主体，其包括相对的正面和背面；若干气孔，所述气孔贯通所述喷淋头主体的正面和背面，每个所述气孔包括：相互连通的第一气孔段和第二气孔段，第一气孔段包括第一端和第二端，第一端用于输出工艺气体，第二端与第二气孔段连接，第一气孔段的第二端的直径小于第二气孔段的直径；以及，耐腐蚀涂层，其覆盖于所述第一气孔段的内壁表面；其中，第一气孔段的长度和其直径的比例为2：1～5：1。本实用新型气孔内耐腐蚀涂层致密度高，能有效降低颗粒污染物的产生。

今年以来中微公司新获得专利授权69个，较去年同期增加了2.99%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。