证券之星消息,根据天眼查APP数据显示拉普拉斯(688726)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“补液装置及ALD设备”,专利申请号为CN202422064912.7,授权日为2025年6月6日。
专利摘要:本申请提供一种补液装置及ALD设备,其中补液装置包括:储液罐,用于存储液体;测液部,设置于储液罐并用于检测液体以获得检测结果;输入管路,连接于储液罐;补液管路,连接于储液罐,储液罐通过补液管路与容器连接;排出管路,连接于储液罐;补液阀门,设置于补液管路;排出阀门,设置于排出管路。在液体注入ALD设备的容器之前,通过补液装置进行检测,能够减少液体受到外界污染的情况,并且,补液装置的检测过程不影响ALD设备的容器中的液体持续用于生产,换言之,通过补液装置可以在不停机的情况下对ALD设备自动进行补纯水作业,能够提升自动化程度和生产效率。
今年以来拉普拉斯新获得专利授权85个。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了2.96亿元,同比增27.5%。
数据来源:天眼查APP
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