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长光华芯获得发明专利授权:“测试样品及其制备方法”

来源:证券之星企业动态 2025-06-04 02:47:10
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示长光华芯(688048)新获得一项发明专利授权,专利名为“测试样品及其制备方法”,专利申请号为CN202510181379.9,授权日为2025年6月3日。

专利摘要:本发明提供一种测试样品及其制备方法,制备方法包括:形成初始样品,包括:在半导体衬底层中形成凹槽,所述凹槽自所述半导体衬底层的一侧表面延伸至部分所述半导体衬底层中;在所述凹槽的内壁以及所述凹槽侧部的所述半导体衬底层的表面形成超晶格层;在所述超晶格层背离所述半导体衬底层的一侧表面形成绝缘保护层;在所述绝缘保护层背离所述超晶格层的一侧表面形成导电层,所述导电层背离绝缘保护层一侧的所述凹槽作为空隙;采用聚焦离子束对所述初始样品进行切割,形成测试样品,切割采用的切割面经过所述空隙且垂直于所述半导体衬底层。

今年以来长光华芯新获得专利授权21个,较去年同期增加了162.5%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了1.27亿元,同比增7.02%。

数据来源:天眼查APP

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