证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种改善等离子体处理均匀性的方法及其应用”，专利申请号为CN202211108914.0，授权日为2025年5月30日。
专利摘要：本申请提供了一种改善等离子体处理均匀性的方法、太阳电池制备工艺和太阳电池，所述改善等离子体处理均匀性的方法，在等离子体处理工艺中采用含氢气体作为辅助气体。本发明提供的改善等离子体处理均匀性的方法可以提高等离子体处理的均匀性，在氧化铝镀膜工艺中掺入含氢气体，可以显著改善氧化铝的镀膜厚度均匀性，扩大了工艺参数窗口，保持氧化铝高水平钝化特性，以适用于器件应用，应用在电池制备过程中可以有效保证电池转换效率。
今年以来微导纳米新获得专利授权33个，较去年同期增加了17.86%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.67亿元，同比增50.78%。
数据来源：天眼查APP
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