芯源微获得实用新型专利授权：“一种显影后废液收集CUP结构”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种显影后废液收集CUP结构”，专利申请号为CN202421741795.7，授权日为2025年5月27日。

专利摘要：本实用新型属于半导体显影设备技术领域，具体地说是一种显影后废液收集CUP结构，包括CUP主体及环形外挡圈，CUP主体的内侧面中部向内侧凸设有环形内挡沿，环形内挡沿的内侧形成晶圆穿过口A，环形内挡沿的内侧面作为第一层挡液面，环形外挡圈安装于CUP主体上，环形外挡圈位于环形内挡沿的上方，环形外挡圈的内侧形成晶圆穿过口B，环形外挡圈的内侧面作为第二层挡液面。本实用新型的废液收集CUP结构通过形成有两层挡液面的结构设计，可充分挡住飞溅的废液，整体结构的高度相较现有的单层挡液面的废液收集CUP结构可以做得相对更低，有效避免废液从废液收集CUP结构飞出而溅到显影腔体，保证显影腔体的洁净度和湿度，结构简单，使用可靠。

今年以来芯源微新获得专利授权23个，较去年同期增加了76.92%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.97亿元，同比增49.93%。

数据来源：天眼查APP

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