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京仪装备获得实用新型专利授权:“一种晶圆盒用锁紧机构及晶圆传输机”

来源:证券之星企业动态 2025-05-24 03:11:36
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示京仪装备(688652)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种晶圆盒用锁紧机构及晶圆传输机”,专利申请号为CN202421589862.8,授权日为2025年5月9日。

专利摘要:本实用新型涉及半导体技术领域,具体而言,涉及一种晶圆盒用锁紧机构及晶圆传输机,包括:承载架,包括底板、载板以及用于连接底板与载板的多根支柱,载板用于承载晶圆盒;铰接座,铰接座包括座体和第一转轴,第一转轴与座体转动连接,座体固定于承载架;直线驱动单元,直线驱动单元的一端铰接于底板上,直线驱动单元的另一端与第一转轴连接;夹爪,夹爪的一端与直线驱动单元的另一端铰接,夹爪的中部与第一转轴连接,夹爪另一端用于抱紧载板;到位检测单元,设置于承载架,用于检测夹爪是否抱紧于载板。其能够准确地检测出锁紧机构是否处于锁紧状态,进而准确得知设备整体的运行情况,提高设备整体的稳定性和可靠性。

今年以来京仪装备新获得专利授权17个,较去年同期减少了26.09%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了9414.94万元,同比增53.06%。

数据来源:天眼查APP

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