汇成真空获得实用新型专利授权：“一种等离子增强的气相沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示汇成真空（301392）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种等离子增强的气相沉积设备”，专利申请号为CN202421662258.3，授权日为2025年5月6日。

专利摘要：本实用新型公开了一种等离子增强的气相沉积设备，包括反应腔体和外真空腔体，反应腔体设置在外真空腔体内部；还包括等离子体发生组件、源进气装置、气体扩散腔、多层结构的工件架、加热装置以及真空泵；多层结构的工件架竖直并可转动地安装在反应腔体内，气体扩散腔设置在反应腔体的内侧壁，高度与工件架上层架总高度适配，其与工件架相对的一面为纵横排布多个气孔的扩散板，构成气体扩散腔的气体扩散口，等离子体发生组件以及源进气装置的出气口均通向气体扩散腔，加热装置设置在反应腔体的腔壁，真空泵与反应腔体和外真空腔体分别通过管路相连。相比于现有技术，本实用新型将气相沉积设备用在了光学镀膜领域，且实现了高产量和设备的大型化。

今年以来汇成真空新获得专利授权30个。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3044.18万元，同比增0.96%。

数据来源：天眼查APP

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