微导纳米获得实用新型专利授权：“进气机构及薄膜制备装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“进气机构及薄膜制备装置”，专利申请号为CN202421499279.8，授权日为2025年5月2日。

专利摘要：本申请公开了一种进气机构及薄膜制备装置，进气机构包括进气件以及管路组件，进气件内部设有进气腔，进气件的外侧壁设置有至少两个进气口，进气件的内侧壁周向设置多个出气口，进气口和出气口均与进气腔连通；管路组件包括至少两个管路组以及总管路，管路组的第一端与总管路连通，管路组的第二端与至少一个进气口连通；管路组包括直管部和弯折部，多个直管部和/或弯折部构成多条输气线路，以使每个输气线路所对应的进气口的气体流速一致。本申请进气机构中多个气体流速一致的进气口可以提高进气件的进气均匀性，缩小不同出气口之间的流速差异，进而提升气体流场的均匀性，从而提升沉积工艺效果和工艺稳定性。

今年以来微导纳米新获得专利授权31个，较去年同期增加了10.71%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.67亿元，同比增50.78%。

数据来源：天眼查APP

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