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拉普拉斯获得实用新型专利授权:“清洗装置”

来源:证券之星企业动态 2025-05-16 02:17:52
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示拉普拉斯(688726)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“清洗装置”,专利申请号为CN202421920382.5,授权日为2025年5月16日。

专利摘要:本申请提出一种清洗装置,包括清洗室、进气机构和电离机构。进气机构向清洗室的反应腔通入反应气体。电离机构包括射频电源、联通电极、射频电极和零位电极。射频电极与零位电极之间的区域形成清洗区域以利用等离子体对治具进行清洗。本申请的清洗装置,通过设置射频电源、联通电极、射频电极和零位电极等结构,确保了射频信号从电源到电极的高效、稳定传输,从而确保了射频电极与零位电极之间能产生电势差,进而能对反应气体进行电离产生等离子体以对治具进行清洗,改善了清洗效果,并提高了清洗效率。

今年以来拉普拉斯新获得专利授权67个。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了2.96亿元,同比增27.5%。

数据来源:天眼查APP

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