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中微公司获得发明专利授权：“一种下电极组件、等离子体处理设备及其电压控制方法”

来源：证券之星企业动态 2025-05-14 02:50:45

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种下电极组件、等离子体处理设备及其电压控制方法”，专利申请号为CN202510098695.X，授权日为2025年5月13日。

专利摘要：本发明提供一种下电极组件、等离子体处理设备及其电压控制方法，在通过第一偏压电源将第一直流脉冲电压耦合到聚焦环的第一电路中，串联第一电容，通过第一电容的容值来调整聚焦环电压变化时对应的第一斜率，从而减少基片与聚焦环之间的电压差，有效降低基片与聚焦环之间发生电弧放电的风险。

今年以来中微公司新获得专利授权67个，较去年同期增加了1.52%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

数据来源：天眼查APP

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