拓荆科技获得发明专利授权：“晶圆升降柱及其制备方法、晶圆处理设备”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆升降柱及其制备方法、晶圆处理设备”，专利申请号为CN202111470247.6，授权日为2025年5月13日。

专利摘要：本发明提供了一种晶圆升降柱，设置于半导体基座内，以用于升降晶圆，所述晶圆升降柱包括金属基体和陶瓷涂层，所述陶瓷涂层设置于所述金属基体的外表面，使得减小了晶圆升降柱折断的概率，减少了PA产生，即通过金属材料制成的所述金属基体导电性好，可以有效地转移走静电，而且金属基体易加工，成型性强，韧性好，不易折断，而所述陶瓷涂层耐磨损，可解决PA超标引起的问题，而且所述陶瓷涂层可以重复加工，使得晶圆升降柱顶部承托晶圆的承托结构可以翻新使用。本发明还提供了所述晶圆升降柱的制备方法和晶圆处理设备。

今年以来拓荆科技新获得专利授权13个，较去年同期增加了116.67%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.56亿元，同比增31.26%。