中微公司获得发明专利授权：“加热组件、热处理设备及基片处理方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“加热组件、热处理设备及基片处理方法”，专利申请号为CN202111303921.1，授权日为2025年5月9日。

专利摘要：本发明公开了一种加热组件、热处理设备及基片处理方法，所述加热组件其用于热处理设备，热处理设备包括处理腔、基座和基座支撑臂，基座和基座支撑臂设置在处理腔内，基座用于承载基片，加热组件用于加热所述基片，包括：支撑件，呈矩阵式分布在支撑件上的若干个加热单元，每一个加热单元在基片所在的平面上对应形成一个加热区；控制装置，其与每一个加热单元连接，用于独立控制每一个加热单元；加热区包括随着基座支撑臂的转动而同步变化的低温区；热补偿区，其与低温区实时同步变化，用于补偿低温区的温度。本发明提高了基片表面的温度均匀性。

今年以来中微公司新获得专利授权66个，较去年同期增加了13.79%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

数据来源：天眼查APP

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