中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体处理设备及工作方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体处理设备及工作方法”，专利申请号为CN202011605586.6，授权日为2025年5月9日。

专利摘要：本发明公开了一种等离子体处理设备及工作方法，包括：真空的反应腔体，其侧壁上设有第一开口；基座，位于所述反应腔体内底部，用于承载基片；气体喷淋头，位于所述反应腔体内顶部，且与基座相对设置；内衬，位于反应腔体的侧壁的内侧，所述内衬设有第二开口，所述第二开口与所述第一开口相对设置，供基片进出反应腔体；接地环，设于所述基座的外围，且与所述内衬连接；导电遮挡部件，用于遮挡第二开口，且所述气体喷淋头、反应腔体的顶部、内衬、导电遮挡部件与接地环之间形成射频回路；第一驱动装置，驱动所述导电遮挡部件上下移动，以遮挡或者打开所述第二开口。本发明设置导电遮挡部件，遮挡内衬处的缺口，保证内衬的完整性，使射频回路均匀。

今年以来中微公司新获得专利授权66个，较去年同期增加了13.79%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。