中微公司获得发明专利授权：“限制环、等离子体处理装置及气压控制方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“限制环、等离子体处理装置及气压控制方法”，专利申请号为CN202110453308.1，授权日为2025年5月9日。

专利摘要：本发明提供一种用于等离子处理装置的限制环，所述等离子处理装置包含一反应腔，所述反应腔内设置一用于支撑晶圆的基座，所述限制环为多层结构，所述限制环的每层包含若干个限制单元，若干个限制单元形成一环形结构，所述限制单元设置在基座外围与反应腔侧壁之间；每个限制单元包含：多个弧形件及伸缩机构，所述多个弧形件同心且沿其径向分立设置，所述伸缩机构用于驱动所述多个弧形件沿弧形件径向运动，以在相邻的弧形件之间形成气体通道。本发明还提供一种等离子体处理装置及一种等离子体处理装置的气压控制方法。所述限制环的高度可调。

今年以来中微公司新获得专利授权66个，较去年同期增加了13.79%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

数据来源：天眼查APP

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