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中微公司获得发明专利授权：“一种接地环及等离子体刻蚀设备”

来源：证券之星企业动态 2025-05-10 02:59:15

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种接地环及等离子体刻蚀设备”，专利申请号为CN202011136180.8，授权日为2025年5月9日。

专利摘要：本发明提供了一种接地环及等离子体刻蚀设备，通过在接地环上设置通孔，连通接地环和基座空隙与真空反应腔的底部空腔，当通过底部空腔抽气时，可以避免空隙中的颗粒污染物向上运动污染基片，而是从通孔直接横向进入空腔进而排出，同时在基座边沿处的气体遮挡环可以进一步阻止在空隙中的颗粒污染物向上运动，提高基片刻蚀的良率，此外，接地环上的通孔面积还保证了真空反应腔内部RF回路的稳定导通，保证内部射频电场的均匀性。

今年以来中微公司新获得专利授权66个，较去年同期增加了13.79%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

数据来源：天眼查APP

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