中微公司获得实用新型专利授权：“一种冷却装置及其分流装置、安装调节机构和半导体工艺设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种冷却装置及其分流装置、安装调节机构和半导体工艺设备”，专利申请号为CN202421489294.4，授权日为2025年5月9日。

专利摘要：本实用新型公开了一种冷却装置及其分流装置、安装调节机构和半导体工艺设备，该冷却装置的分流装置包括第一进风口、第一出风口、第二出风口和分流腔，分流腔经第一进风口进风，并经第一出风口和第二出风口出风，第一出风口和第二出风口的出风朝向不同，分流腔内设有分流板，分流板包括第一风板和第二风板，第一风板设置为将进风至少部分地导向第一出风口，第二风板设置为将进风至少部分地导向第二出风口，第一风板和第二风板靠近第一进风口的一端交会连接。可实现对待冷却风的分流，并将分流后的待冷却风导向不同的出风口，进而流向出风口对应的换热器，有助于提高冷却装置整体冷却效率，保证冷却装置冷却效果的稳定性。

今年以来中微公司新获得专利授权53个，较去年同期减少了3.64%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

数据来源：天眼查APP

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