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至纯科技获得实用新型专利授权:“一种水平运输的槽体运输装置”

来源:证券之星企业动态 2025-05-06 02:26:16
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示至纯科技(603690)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种水平运输的槽体运输装置”,专利申请号为CN202420656527.9,授权日为2025年5月6日。

专利摘要:本实用新型提供一种水平运输的槽体运输装置,涉及半导体设备技术领域,包括:滚轮运输机构,滚轮运输机构将放置在上方的槽体从零点位运输到顶点位;止动机构,设置于滚轮运输机构的顶点位;侧推机构,设置于滚轮运输机构的一侧;对射传感器,与侧推机构电连接,设置于滚轮运输机构的顶点位的两侧,并且位于止动机构与滚轮运输机构的零点位之间;槽体被运输至滚轮运输机构的顶点位并与止动机构抵接时阻挡对射传感器的光线,侧推机构将槽体沿垂直于槽体的运输方向推动至与滚轮运输机构的另一侧抵接,使槽体定位。有益效果是保证槽体在滚轮运输机构能够保持不倾斜,有利于后续晶圆传送机构取放晶圆的动作,减少晶圆破损的可能性。

今年以来至纯科技新获得专利授权12个,较去年同期增加了33.33%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了2.67亿元,同比增19.17%。

数据来源:天眼查APP

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