证券之星消息,根据天眼查APP数据显示阿特斯(688472)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“烘干装置”,专利申请号为CN202421652004.3,授权日为2025年4月25日。
专利摘要:本实用新型属于硅片生产设备技术领域,公开了一种烘干装置。该烘干装置包括壳体、送热风组件和循环管路组件。壳体内设置风淋组件;送热风组件设置于所述壳体,能够对流经所述送热风组件的气体进行加热并向所述壳体内输送热风;循环管路组件包括循环管,所述循环管具有互相连通的入口端、第一出口端和第二出口端,所述循环管的入口端处设置有抽风件,所述循环管的入口端与所述壳体内部连通,所述循环管的第一出口端与所述送热风组件连通,所述循环管的第二出口端与所述风淋组件连通。本实用新型能够对用于对硅片进行烘干的热风回收利用,降低能耗成本。
今年以来阿特斯新获得专利授权32个,较去年同期减少了37.25%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了4.23亿元,同比增51.78%。
数据来源:天眼查APP
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