芯源微获得实用新型专利授权：“晶圆搬运手指”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“晶圆搬运手指”，专利申请号为CN202420893511.X，授权日为2025年4月25日。

专利摘要：本实用新型提供了一种晶圆搬运手指，包括：手指本体和设于所述手指本体底面的伯努利吸盘，所述手指本体和所述伯努利吸盘之间形成有吸盘气室，所述伯努利吸盘上间隔地设有与所述吸盘气室连通的若干个喷气孔，若干个所述喷气孔的连线呈圆形状，所述吸盘气室与供气装置连接，所述供气装置用于向所述吸盘气室内通气，以使气体从所述喷气孔喷出。利用所述供气装置向所述吸盘气室内通气，从所述喷气孔喷出的高速流动的气体，产生伯努利效应，以使晶圆可以悬浮地吸附于所述伯努利吸盘下方，非接触式吸附避免破坏晶圆微结构，也不会造成晶圆的变形和碎片，避免污染晶圆。

今年以来芯源微新获得专利授权20个，较去年同期增加了81.82%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.17亿元，同比增52%。