证券之星消息,根据天眼查APP数据显示万润股份(002643)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种用于ArF浸没式光刻胶顶层涂层的组合物及其制备方法”,专利申请号为CN202111631540.6,授权日为2025年4月22日。
专利摘要:本发明涉及一种用于ArF浸没式光刻胶顶层涂层的组合物,所述的组合物包括聚合物I、聚合物II、光致产酸剂和电子级溶剂,所述的聚合物I和聚合物II结构式如下:a选自40?70%,b选自1?10%,c选自30?60%;x选自1?10%,y选自1?10%,z选自80~95%;聚合物I和聚合物II的分子量选自1000?30000Da,分子量分散系数选自1.0?4.0。所述顶层涂层组合物具有较高的后退角,可减少光致产酸剂在浸没流体中的沥出。
今年以来万润股份新获得专利授权11个,较去年同期减少了21.43%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了2.12亿元,同比增33.31%。
数据来源:天眼查APP
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