中微公司获得实用新型专利授权：“下电极组件及等离子体处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“下电极组件及等离子体处理装置”，专利申请号为CN202420563285.9，授权日为2025年4月8日。

专利摘要：本实用新型提供一种下电极组件及等离子体处理装置，所述下电极组件设置在一真空反应腔内，包含：基座，用于支承晶圆，所述基座与射频电源电连接；设施板，设置在基座底部；上隔离环，围绕设置在所述基座和所述设施板的外周；下隔离环，设置在所述设施板和所述上隔离环的下方并承载所述设施板；所述下隔离环的内部具有电性接地的第一紧固件；第一弹性绝缘环，至少部分围绕设置在所述设施板与所述上隔离环之间，并弹性接触所述设施板的外侧壁和所述下隔离环的顶部。本实用新型大大降低了下电极组件因发生电弧放电而被击穿的风险，提高了晶圆加工的安全性。

今年以来中微公司新获得专利授权50个，较去年同期减少了9.09%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

数据来源：天眼查APP

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