证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种真空处理设备”，专利申请号为CN202421192829.1，授权日为2025年4月8日。
专利摘要：本实用新型公开一种真空处理设备，包括至少两个处理腔，每个所述处理腔内设有一基座，所述基座用于承载衬底，环绕所述基座外围设置排气区域；所述两个处理腔共用一套真空系统，所述真空系统包括一真空泵，所述真空泵具有一真空泵口；两个所述排气区域沿第一方向的投影分别与所述真空泵口截面至少部分重合，且重合区域沿所述第一方向上存在贯通气路。节省成本的同时提高抽真空效率。
今年以来中微公司新获得专利授权50个，较去年同期减少了9.09%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。
数据来源：天眼查APP
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