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中微公司获得实用新型专利授权：“晶圆输送装置及成膜设备”

来源：证券之星企业动态 2025-04-23 03:08:23

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“晶圆输送装置及成膜设备”，专利申请号为CN202421414768.9，授权日为2025年4月8日。

专利摘要：本实用新型公开了一种晶圆输送装置及成膜设备，所述晶圆输送装置包括：输送臂，其首端用于托起晶圆托盘。机械臂，其与输送臂的末端连接，用于驱动输送臂移动，以传送晶圆托盘。防尘罩，其设置在输送臂的上方，以防止杂质颗粒掉落在晶圆上。支撑部，防尘罩的一端通过支撑部固定于输送壁上，支撑部靠近输送臂的末端设置。在使用本实用新型的晶圆输送装置进行传片时，阀门上的杂质颗粒若是会掉落，则会掉落在防尘罩上，减小掉落到晶圆上的几率，提高了晶圆的良品率。

今年以来中微公司新获得专利授权50个，较去年同期减少了9.09%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

数据来源：天眼查APP

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