中微公司获得实用新型专利授权：“半导体处理装置及其感应加热线圈”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“半导体处理装置及其感应加热线圈”，专利申请号为CN202420912974.6，授权日为2025年4月8日。

专利摘要：本实用新型提供一种半导体处理装置及其感应加热线圈；所述感应加热线圈包含多匝线圈，每匝线圈设有弧线段，相邻两匝线圈的弧线段之间通过直线段连接；所述感应加热线圈设有内部区域、包围所述内部区域的中间区域、包围所述中间区域的外部区域；所述内部区域中的相邻两匝线圈具有第一间距，所述中间区域中的相邻两匝线圈具有第二间距，所述外部区域中的相邻两匝线圈具有第三间距，所述第二间距分别大于第一间距和第三间距。本实用新型通过感应加热线圈的多个区域分别加热托盘的不同部位，对托盘温度实现局部调整，使托盘及其承载的晶圆温度可以均匀分布，确保半导体制造工艺的稳定性。

今年以来中微公司新获得专利授权50个，较去年同期减少了9.09%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由智能算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。