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芯源微获得实用新型专利授权：“一种清洗腔体和清洗设备”

来源：证券之星企业动态 2025-04-19 03:42:41

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种清洗腔体和清洗设备”，专利申请号为CN202420815453.9，授权日为2025年4月18日。

专利摘要：本实用新型公开了一种清洗腔体和清洗设备，包括：升降腔室，所述升降腔室用于通过上升增加清洗面至腔体顶部的相对距离，以将清洗过程中产生的飞溅的液滴限制于所述腔体内部。本实用新型能够将清洗过程中清洗液喷洒在清洗面上而产生的飞溅的液滴阻挡在腔体内部，防止清洗过程中飞溅的液滴外溢对光学元件的探测效果造成影响，还可防止清洗过程中产生的飞溅的固体副产物对排液口造成堵塞，且能同时有效回收固体副产物中含有的贵金属。

今年以来芯源微新获得专利授权18个，较去年同期增加了63.64%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.17亿元，同比增52%。

数据来源：天眼查APP

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