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长光华芯获得发明专利授权:“一种高均匀性二维VCSEL激光器及其制备方法”

来源:证券之星企业动态 2025-04-19 03:41:14
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示长光华芯(688048)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种高均匀性二维VCSEL激光器及其制备方法”,专利申请号为CN202411962956.X,授权日为2025年4月18日。

专利摘要:本发明公开了一种高均匀性二维VCSEL激光器及其制备方法。该激光器包括多个发光单元组成的多行多列的二维阵列;每个发光单元自下而上依次形成有绝缘衬底层、N型导电层、二维电子气层、刻蚀截止层、N?DBR层、延长腔、有源区、P?DBR层、P?contact层;在每个发光单元中的P?contact层上形成有多个上电极,在P?contact层上未形成上电极的区域形成有多个介质膜层,介质膜层向下延伸至二维电子气层;在上电极和介质膜层的上表面形成P?电镀层,各介质膜层的下部之间形成有N?电镀层。本发明中的一种高均匀性二维VCSEL激光器及其制备方法一方面克服了共面电极寻址VCSEL厚导电层导致的外延层应力积累问题,另一方面提升了电子在n面横向输运的均匀性和不同发光区发光均匀性。

今年以来长光华芯新获得专利授权17个,较去年同期增加了183.33%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了6219.78万元,同比增13.56%。

数据来源:天眼查APP

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